專為高精度、小尺寸材料對位需求設(shè)計的mini版對位糾偏平臺，機身高僅52mm，長寬僅65mm。結(jié)構(gòu)緊湊、輕量化設(shè)計；高精度、高動態(tài)響應(yīng)。直線軸重復(fù)精度±0.5μm，旋轉(zhuǎn)軸重復(fù)精度±1.3"。全自由度精密調(diào)整，能完成各種精細(xì)糾偏任務(wù)。
專為高精度、小尺寸材料對位需求設(shè)計的mini版對位糾偏平臺，機身高僅52mm，長寬僅65mm。結(jié)構(gòu)緊湊、輕量化設(shè)計；高精度、高動態(tài)響應(yīng)。直線軸重復(fù)精度±0.5μm，旋轉(zhuǎn)軸重復(fù)精度±1.3"。全自由度精密調(diào)整，能完成各種精細(xì)糾偏任務(wù)。
